硅片超聲波清洗機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造和光伏電池生產(chǎn)中硅片表面污染物清除的工業(yè)級(jí)設(shè)備。其主要功能是通過超聲波技術(shù)去除硅片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)及氧化層等污染物，同時(shí)保持晶片表面特性不受損。
硅片超聲波清洗機(jī)利用超聲波在液體中傳播時(shí)產(chǎn)生的壓強(qiáng)波動(dòng)，形成微小氣泡并在瞬間崩潰時(shí)釋放出強(qiáng)烈沖擊力，將污物從硅片表面剝離。適用于帶有復(fù)雜幾何形狀的硅片。
硅片超聲波清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的硅片晶圓及相關(guān)器皿的表面污染物清除，適用于擴(kuò)散前、光刻后、氧化前等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的清洗需求。在光伏電池生產(chǎn)中，該設(shè)備以其微米級(jí)的清洗精度和智能化的工藝控制，成為硅片制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵裝備，能夠有效去除切割損傷層、微米級(jí)雜質(zhì)及有機(jī)物污染。
硅片超聲波清洗機(jī)的工作原理主要依賴于超聲波空化效應(yīng)。當(dāng)超聲波發(fā)生器產(chǎn)生高頻振動(dòng)時(shí)，清洗液中的氣泡會(huì)迅速膨脹并破裂，這個(gè)過程會(huì)產(chǎn)生瞬時(shí)高溫和高壓沖擊波，從而剝離硅片表面的污染物。具體來說，超聲波空化效應(yīng)在清洗液中產(chǎn)生數(shù)百萬個(gè)微小氣泡，這些氣泡在破裂時(shí)會(huì)釋放出大的能量，有效去除硅片表面的顆粒、殘留光刻膠或氧化層。
硅片超聲清洗機(jī)的核心原理基于超聲波空化作用：
超聲波發(fā)生器產(chǎn)生高頻電信號(hào)(頻率范圍通常為20kHz-120kHz)，通過換能器轉(zhuǎn)化為機(jī)械振動(dòng)，在清洗液中形成無數(shù)微小氣泡。
氣泡在聲壓作用下快速膨脹并破裂，產(chǎn)生局部高溫(約5000K)和高壓(約1000atm)，形成沖擊波，剝離硅片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)及自然氧化層。
高頻超聲(40kHz以上)適用于小顆粒污垢清洗，避免損傷硅片表面；低頻超聲(20-40kHz)則更適合去除頑固污染物。
更新時(shí)間：2025-12-03
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